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介绍了半导体器件的可焊性电镀工艺及装置,采用SnSO4-H2SO4体系的酸性光亮镀锡,以自行研制的叶片式滚轮为主夹上人的专用装置,通过挂-滚镀相结合形式实现对多种半导体器件的镀覆。讨论了影响质量的重要因素,镀层经电子探针扫描结果:厚度均匀性好,镀层与基体紧密,加速老化后进行润湿力测定,其结果,实际润湿力可达理论值的2/3以上。
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文献信息
篇名 半导体器件的可焊性镀锡
来源期刊 电子工艺简讯 学科 工学
关键词 半导体器件 可焊性镀锡 制造 工艺
年,卷(期) 1995,(10) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-19
页数 3页 分类号 TN305
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研究主题发展历程
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半导体器件
可焊性镀锡
制造
工艺
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期刊影响力
电子工艺简讯
月刊
1004-7832
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