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甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜
DLC薄膜
微观结构
等离子体
电流密度
极间距
电沉积
大气压等离子体沉积棉织物类氧化硅薄膜
大气压等离子体
棉织物
薄膜
多晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积低温制备工艺
电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积
多晶硅薄膜
低温生长
非导电材料表面等离子体注涂技术
离子注入
绝缘材料
航空航天领域
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 导电薄膜沉积用ECR等离子体源
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 沉积 电子自旋共振 薄膜 等离子体源
年,卷(期) 1995,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 10-11
页数 2页 分类号 O531
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沉积
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薄膜
等离子体源
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