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氮气含量对射频磁控溅射法制备的AlN薄膜微观结构与力学性能的影响
氮化铝薄膜
反应溅射
择优取向
纳米压痕
硬度
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AlN薄膜
智能剥离
绝缘层上硅
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AlN薄膜
共沉积
生长速率
磁控溅射
择优取向
等离子增强原子层沉积低温生长AlN薄膜*
氮化铝
等离子增强原子层沉积
低温生长
晶态薄膜
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 AlN薄膜的生长技术
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 ALN 半导体薄膜 热电体 气相法生长
年,卷(期) 1996,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 4-5
页数 2页 分类号 TN304.2
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1996(0)
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研究主题发展历程
节点文献
ALN
半导体薄膜
热电体
气相法生长
研究起点
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研究分支
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引文网络交叉学科
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电子材料快报
月刊
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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