单晶硅炉用碳石墨材料的研制与应用

• 作者: 鄢鹏
• 来源期刊: 电碳
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅炉 碳 石墨 材料 半导体 拉制 单晶硅
• 年，卷（期）: dtb_1998,（2）
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TF806.9

摘要

ＣＺ法拉制半导体单晶硅，炉室中使用多种碳石墨材料。本文简要介绍单晶炉炉室结构、工作原理，重点阐述适用碳石墨材料的要求和研制应用情况。

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1	鄢鹏		1	0	0.0	0.0