测射镀膜机自控系统

• 作者: 石玉贤 郑尚清
• 来源期刊: 自动化信息
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射镀膜机 自动控制系统 镀膜机 电镀
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: TQ153

摘要

本文以通用计算机和ＣＱＭ１－ＣＰＵ４２－Ｅ和ＰＬＣ－８１８数据采集卡，组成参数监测与控制系统，使测射镀膜机实现自动化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑尚清		1	0	0.0	0.0
2	石玉贤		1	0	0.0	0.0