从集成电路迈向微系统

• 作者: 王阳
• 来源期刊: 中国经济和信息化
• 学科: 工学
• 关键词: 微系统技术 敏感器 集成电路工艺 微集成 执行器 集成电路技术 硅微系统 芯片 医疗产品 硅微结构
• 年，卷（期）: 1998,（18）
• 页码范围: 19-19
• 页数: 1页
• 分类号: TN40

摘要

目前,集成电路技术已发展到可以将微电子、微光学、微机械结合起来。形成一种新的复杂的多功能微系统。微系统被人们称为传统工业的维生素。微系统产品社会需求量不断上升,并在消费电子、通讯设备、医疗器件、自动控制、仪器仪表等方面形成了巨大的潜在市场。正是技术进步和市场需求促使VLSI从集成电路技术逐渐向微系统技术迈进。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王阳	北京大学微电子研究所	22	155	7.0	12.0