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石英钟罩对MPCVD金刚石膜沉积的影响
微波等离子体化学气相沉积
金刚石
钟罩
沉积速率
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
溶胶-凝胶法在金刚石表面涂覆纳米TiO2薄膜
金刚石
TiO2
溶胶凝胶
表面涂膜
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 石英钟罩式MPCVD制备金刚石薄膜
来源期刊 磨料磨具通讯 学科 物理学
关键词 MPCVD 金刚石薄膜 石英钟罩式
年,卷(期) mlmjtx,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 10-11
页数 2页 分类号 O484.1
字数 语种 中文
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1999(0)
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研究主题发展历程
节点文献
MPCVD
金刚石薄膜
石英钟罩式
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
磨料磨具通讯
月刊
河南省郑州市华山路121号
出版文献量(篇)
5059
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9
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