化学气相沉积的金刚石膜标准制定中应考虑的问题

• 作者: 杜素梅 罗廷礼
• 来源期刊: 工业金刚石
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石膜 标准 制定 静压法
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TQ163

摘要

静压法合成的单晶人造金刚石和人造金刚石微粉，就品种，技术条件，包装，杂质检验，抗压强度测定方法，粒度组成等有关问题，已经建立了国家标准。化学气相沉积法制取的金刚石膜因出现的时间短还未建立起有关标准。化学气相沉积金刚石膜的方法有热丝法，微波法和直流电弧等离子体喷射法三类，本文就直流电弧等离子体喷射化学气相沉积的自支撑人造金刚石膜标准的制定中应考虑到的一些问题提出了我们的看法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜素梅	河北省科学院中试基地	2	1	1.0	1.0
2	罗廷礼	河北省科学院中试基地	4	19	1.0	4.0