微波等离子体化学气相沉积β-C3N4超硬膜的研究

• 作者: 常香荣 张永平 张秀芳 时东霞 田中卓 袁磊 顾有松 马立平
• 来源期刊: 河北科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: C3N4 微波等离子体化学气相沉积法 薄膜沉积 超硬材料
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TB39
• 字数: 1564字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1542.1999.04.001

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在多晶铂(Pt)基片上沉积C3N4薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)和扫描隧道显微镜(STM)观察薄膜形貌表明,薄膜由针状晶体组成.X射线能谱(EDX)分析了这种晶态C-N膜的化学成分.对不同样品不同区域的分析结果表明,N/C比接近于4/3.X射线衍射结构分析说明该膜主要由β-C3N4和α-C3N4组成.利用Nano indenter Ⅱ测得C3N4膜的体弹性模量B达到349 GPa,接近c-BN(367 GPa)的体弹性模量,证明C3N4化合物是超硬材料家族中的一员.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田中卓	北京科技大学材料物理系	14	75	5.0	8.0
2	顾有松	北京科技大学材料物理系	32	162	7.0	10.0
3	张永平	北京科技大学材料物理系	8	39	4.0	6.0
4	常香荣	北京科技大学材料物理系	14	87	6.0	8.0
5	时东霞	中国科学院北京真空物理实验室	23	165	8.0	12.0
6	张秀芳	中国科学院北京真空物理实验室	6	52	4.0	6.0
7	袁磊	中国科学院北京真空物理实验室	10	57	5.0	7.0
8	马立平	中国科学院北京真空物理实验室	1	1	1.0	1.0