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MEVVA注入法合成SiC／Si异质结构的椭偏光谱研究
MEVVA注入法合成SiC／Si异质结构的椭偏光谱研究
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摘要：
推荐文章
C+注入Si形成SiC/Si异质结构的椭偏光谱
椭偏光谱
C+注入
SiC
异质结构
AlN单晶薄膜扫描光谱椭偏研究
光谱椭偏
AlN薄膜
色散关系
各向异性
用MEVVA低能离子注入制备表层SiC/Si异质结构及其室温的光致发光特性
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光致发光
椭偏光度法研究溶胶-凝胶SiO2薄膜的光学性能
溶胶-凝胶工艺
椭圆偏振光谱仪
光学常数
微结构
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
| 篇名 | MEVVA注入法合成SiC／Si异质结构的椭偏光谱研究 | ||
| 来源期刊 | 四川大学学报（自然科学版） | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 1999,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 77 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | |
| 字数 | 2812字 | 语种 | 中文 |
| DOI | 10.3969/j.issn.0490-6756.1999.01.016 | ||
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四川大学学报(自然科学版)
主办单位：
四川大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
0490-6756
CN：
51-1595/N
开本：
大16开
出版地：
成都市九眼桥望江路29号
邮发代号：
62-127
创刊时间：
1955
语种：
chi
出版文献量（篇）
5772
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