利用脉冲激基分子激光制备大尺寸类金刚石薄膜及其均匀性分析

• 作者: 刘晶儒 李铁军 楼祺洪 王丽戈
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 脉冲激光沉积 均匀性
• 年，卷（期）: 1999,（12）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1080-1085
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

利用脉冲激光沉积结合计算机辅助衬底扫描技术制备了尺寸为70×66mm、均匀性为±5%的类金刚石薄膜,薄膜显微硬度最高为27GPa,薄膜结合强度达到20000转;在制备大尺寸薄膜的过程中,衬底扫描速度越慢,薄膜的均匀性越好;在应用传统清洗等方法的基础上,认为增大镀膜粒子的能量对于提高薄膜和衬底的结合强度是非常重要的.