常用材料软X射线多层膜的全波段设计

• 作者: 易葵 王润文 范正修 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线多层膜 反射率 多层膜设计
• 年，卷（期）: 1999,（12）
• 所属期刊栏目: 激光薄膜
• 页码范围: 1127
• 分类号: TN2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.1999.12.015

摘要

利用薄膜光学理论及材料在软X射线波段的原子散射因子,设计了大批量的软X射线多层膜的计算程序,对常用材料的膜系配对进行了优化设计,给出的结果对软X射线整个波段内的多层膜膜系的选择有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光机所光学薄膜中心	212	2131	21.0	29.0
2	王润文	中国科学院上海光机所光学薄膜中心	15	84	6.0	8.0
3	易葵	中国科学院上海光机所光学薄膜中心	67	518	14.0	18.0
4	范正修	中国科学院上海光机所光学薄膜中心	203	2312	23.0	32.0