热蒸镀MgF2薄膜时的喷溅问题

• 作者: 李新昌
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: MgF2薄膜 喷溅 汽化核
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 论文·研制报告
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.8
• 字数: 2225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2000.02.005

摘要

从热学角度探讨热蒸镀MgF2薄膜时的喷溅原因,结合实际操作给出解决问题的工艺方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新昌		1	1	1.0	1.0