大面积金刚石膜的均匀沉积

• 作者: 刘敬明 吕反修 唐伟忠 蒋政 钟国仿 黄天斌
• 来源期刊: 北京科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 大面积 金刚石膜 均匀性
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 页码范围: 467-469
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-053X.2000.05.019

摘要

研究了大面积金刚石膜沉积过程中的均匀性问题和金刚石膜质量的均匀性问题.研究表明:用于生长金刚石膜的大面积磁旋转等离子体电弧是均匀的,能使气体混合均匀;金刚石膜在形核阶段是均匀的;金刚石膜在生长阶段是均匀的,有利于提高成膜几率;沉积后的金刚石膜的质量是均匀的.大面积磁控长通道等离子矩能生长均匀的金刚石膜,可用于金刚石膜的研究和工业生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	蒋政	北京科技大学材料科学与工程学院	7	41	4.0	6.0
4	刘敬明	北京科技大学材料科学与工程学院	11	91	6.0	9.0
5	黄天斌	北京科技大学材料科学与工程学院	5	45	3.0	5.0
6	钟国仿	北京科技大学材料科学与工程学院	3	32	2.0	3.0