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文献信息
篇名 利用磁增强射频等离子体源生长的金刚石薄膜的场致发射
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 磁增强射频等离子体源 金刚石薄膜 场致发射
年,卷(期) 2000,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 19-21
页数 3页 分类号 O484.1
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磁增强射频等离子体源
金刚石薄膜
场致发射
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