快速热处理对PZT薄膜的微结构及电性能的影响

• 作者: 孟中岩 程晋荣 罗来青
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 快速热处理 PZT薄膜 铁电性能
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 531-533
• 页数: 3页
• 分类号: TM223
• 字数: 3144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2000.05.031

摘要

采用改进的溶胶一凝胶技术,在Pt/Ti/TiO2/SiO2/Si(100)基片上制备了压电PZT薄膜,用XRD和APM技术分析了不同热处理工艺条件下PZT薄膜的微观形貌变化及相结构演化,系统测试了PZT薄膜的铁电性能.工艺-结构-性能研究结果表明:快速热处理工艺(RTA)有利于PZT薄膜保持较低的漏电流密度,热处理温度是影响晶粒大小的主要因素,而保温时间则对PZT薄膜的致密性、晶粒均匀度和晶界结合状态以及PZT薄膜的铁电性能有明显影响.在优化热处理条件下,PZT薄膜的剩余极化值(Pr)可达27μC/cm2,漏电流密度为10-7A/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟中岩	上海大学材料科学与工程学院	27	307	11.0	16.0
2	程晋荣	上海交通大学材料学院	12	73	5.0	8.0
6	罗来青	上海大学材料科学与工程学院	1	21	1.0	1.0