粒子流特性对脉冲激光烧蚀淀积类金刚石薄膜的影响

• 作者: 俞昌旋 刘晶儒 姚东升 王丽戈 詹如娟
• 来源期刊: 中国科学A辑
• 学科: 化学
• 关键词: 飞秒脉冲激光 离子能量和通量 类金刚石膜
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 451-455
• 页数: 5页
• 分类号: O6
• 字数: 2239字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9232.2000.05.009

摘要

采用两种不同脉宽(30 ns,500 fs)的KrF准分子激光淀积类金刚石薄膜, 通过等离子体发射光谱和离子探针的测量, 研究了激光等离子体成分、平均离子能量和通量等随激光能量密度、淀积距离的变化, 对两种脉宽的激光等离子体淀积的薄膜结构和性能进行了比较,并且研究了激光等离子体特性对淀积薄膜类金刚石性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晶儒		87	620	13.0	19.0
2	詹如娟	中国科学技术大学近代物理系	17	150	7.0	12.0
3	俞昌旋	中国科学技术大学近代物理系	12	34	3.0	5.0
4	姚东升	中国科学技术大学近代物理系	6	69	5.0	6.0
8	王丽戈		5	67	5.0	5.0