晶体管、MOS器件

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体管 锗薄膜 净化室 器件 研究与进展 微电子学 荧光灯电子镇流器 学生 驱动电路 槽栅
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 页码范围: 32-33
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y2000-62169-69 0020062在净化室内由学生完成硅-锗薄膜晶体管=Student re-alization in cleartroom of silicon-germanium thin filmtransistors[会,英]/Guillet,D.& Mourgues,K.//Pro-ceedings of the 1999 International Conference on Micro-electronic Systems EdHcation(MSE’99).-69～70(YP)