硅集成传感器

• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅集成传感器 VLSI 集成电路
• 年，卷（期）: gwcgjs_2001,（5）
• 页码范围: 167-173
• 页数: 7页
• 分类号: TP212

摘要

迅速发展的VLSI技术不仅促进了硅集成传感器制作技术的发展，而且还改善了传感器的性能，应用VLSI技术的一些工艺，可制作更高性能的硅传感器，可开发出一种新式3维结构，本文结合VLSI技术，探讨了传感器的今后发展趋势，重在开发硅多功能传感器，并强化传感器智能。