SMA/Si复合膜微驱动器图案优化设计

• 作者: 徐东 王莉 程秀兰 蔡炳初 陈鉴
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微驱动器 有限元分析 形状记忆效应 双金属效应 优化设计
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 18-21,73
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 2872字
• 语种: 中文

摘要

图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析.通过结构分析和温度场分析,圆形电阻条变宽的设计有助于进一步提高驱动膜的性能.仿真结果对于优化驱动膜的设计具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程秀兰	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	48	205	5.0	12.0
2	王莉	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	85	773	14.0	24.0
3	徐东	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	23	187	6.0	13.0
4	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	49	769	15.0	26.0
5	陈鉴	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	2	3	1.0	1.0