Ridge Waveguide Electro-Optic Polymer Modulator with a New Kind of Corona Poled Crosslinkable Polyurethane

• 作者: 吴荣汉 杜云 杨晓红 殷爱民 石志文
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 调制器 聚合物 脊形波导
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 130-133
• 页数: 4页
• 分类号: TN36
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.02.005

摘要

制备了一种全部以聚合物为波导材料的电光调制器，其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料．旋涂制备波导薄膜、电晕极化产生非线性、光刻和氧反应离子刻蚀完成脊波导为主要的工艺步骤。1.3μm光源光纤耦合输入脊波导调制器，得到很好的输出端单模近场图及清晰的低频调制信号．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓红	中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心	33	182	8.0	12.0
2	杜云	中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心	21	67	5.0	7.0
3	吴荣汉	中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心	22	159	8.0	12.0
4	石志文	中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心	4	17	2.0	4.0
5	殷爱民	中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心	1	5	1.0	1.0