石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研究

• 作者: 梁荣庆 赵龙章
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 石英晶体 频率偏离
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 305-306,308
• 页数: 3页
• 分类号: TP21
• 字数: 1210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.z1.141

摘要

本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜，研究了TiN薄膜的性能以及作为生物传感检测时的频率偏离特性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵龙章		7	4	1.0	1.0
2	梁荣庆	中国科学院等离子体物理研究所	14	119	7.0	10.0