BG-105型分步投影光刻机调平控制系统分析与软件处理

• 作者: 葛宁
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 调平控制系统 位置检测器 计算方法 软件编程
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 论文·研制报告
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1382字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.01.009

摘要

概述了调平控制系统在BG-105型分步投影光刻机中的重要性和BG-105型分步投影光刻机调平控制系统的工作原理.重点讨论了该控制系统的软件计算处理方法.实测表明,该软件控制系统运行情况良好,具有很强的实用性.