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InAlGaN薄膜和硅基GaN的HRXRD表征
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文献信息
| 篇名 | InAlGaN薄膜和硅基GaN的HRXRD表征 | ||
| 来源期刊 | 北京同步辐射装置年报 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | InAlGaN薄膜 硅基GAN HRXRD表征 氮化物 III族 量子阱 晶格 | ||
| 年，卷（期） | bjtbfszznb_2002,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 159-162 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | O484 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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InAlGaN薄膜
硅基GAN
HRXRD表征
氮化物
III族
量子阱
晶格
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期刊影响力
北京同步辐射装置年报
主办单位：
北京正负电子对撞机国家实验室
出版周期：
年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市石景山区玉泉路19号乙
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
264
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