类金刚石薄膜对多孔硅发光的钝化作用

• 作者: 夏义本 居建华 张伟丽 方志军 王志明 王林军 范轶敏
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅 类金刚石薄膜 钝化
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 发光和光探测器件
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TN
• 字数: 1927字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2002.z1.007

摘要

介绍了类金刚石薄膜对多孔硅发光的钝化作用.类金刚石薄膜隔绝了外界对多孔硅表面的影响,使硅氢键不易断裂,从而减少了非辐射复合中心,稳定了多孔硅的发光性能.通过在类金刚石薄膜中掺氮还可以进一步提高钝化效果,因为氮使多孔硅表面更多的悬空键被钝化形成Si-N键,从而提高了发光强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
2	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
3	张伟丽	上海大学材料科学与工程学院	18	104	7.0	9.0
4	居建华	上海大学材料科学与工程学院	28	114	7.0	9.0
5	王志明	上海大学材料科学与工程学院	55	169	7.0	11.0
6	方志军	上海大学材料科学与工程学院	14	97	6.0	9.0
7	范轶敏	上海大学材料科学与工程学院	5	25	2.0	5.0