CVD金刚石薄膜热,导率的研究

• 作者: 刘正义 瞿全炎 邱万奇 陈灵 黄元盛
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流等离子体射流法 CVD金刚石膜 热导率
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2109字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2002.02.002

摘要

研究了直流等离子体喷射沉积金刚石膜的晶粒尺寸、晶粒取向、膜厚、杂质和缺陷对金刚石膜的热导率的影响.结果表明,随着晶粒尺寸的增大,金刚石膜的热导率先慢后快逐渐增大;随着膜的增厚,热导率先大幅度提高,达到一定值后,变化率变小;晶粒(111)取向对金刚石膜的热导率最有利,其次是(110);非金刚石碳相和缺陷都降低膜的热导率,但晶间空隙对热导率的影响比非金刚石碳相大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈灵	华南理工大学机电系	29	99	6.0	8.0
2	邱万奇	华南理工大学机电系	67	339	9.0	15.0
3	刘正义	华南理工大学机电系	91	1225	21.0	32.0
4	黄元盛	华南理工大学机电系	14	113	7.0	10.0
5	瞿全炎	华南理工大学机电系	5	25	3.0	5.0