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摘要:
随着半导体技术的迅猛发展,使得半导体设备更趋于复杂化,对复杂设备的控制便显得尤为重要,针对复杂设备的运动控制系统,阐述了几种具体控制方式及实现方法.
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文献信息
篇名 多轴运动控制系统的控制方式
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 运动控制器 以太网 运动控制卡
年,卷(期) 2002,(3) 所属期刊栏目 新设备·新机构
研究方向 页码范围 163-166
页数 4页 分类号 TN407|TP13
字数 2568字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.03.009
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研究主题发展历程
节点文献
运动控制器
以太网
运动控制卡
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
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