射频微机械开关的计算机辅助设计

• 作者: 孙晓玮 朱守正 朱自强 李小卫 程知群 赖宗声 郭方敏 魏华征
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 并联电容式开关 微电子机械系统(MEMS) 共面波导 ADS软件 ANSYS软件
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 947-951
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 2839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.09.010

摘要

应用计算机辅助设计(CAD)方法模拟设计一种射频微机械(RF-MEMS)开关.用Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和MEMS开关的等效电路模型,并应用ANSYS软件模拟开关的驱动电压,得到了35GHz工作频率的并联电容式MEMS开关一些有意义的理论分析结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱自强	华东师范大学信息科学技术学院	40	272	11.0	13.0
2	赖宗声	华东师范大学信息科学技术学院	136	779	13.0	18.0
3	郭方敏	华东师范大学信息科学技术学院	14	47	4.0	6.0
4	程知群	中国科学院上海冶金研究所传感技术联合开放实验室	16	111	6.0	10.0
5	朱守正	华东师范大学信息科学技术学院	59	225	8.0	12.0
6	李小卫	中国科学院上海冶金研究所传感技术联合开放实验室	2	26	2.0	2.0
7	魏华征	华东师范大学信息科学技术学院	2	25	2.0	2.0