稀土Nd,Ce掺杂硅基薄膜光致发光特性

• 作者: 元美玲 刘南生 曾宇昕 汪庆年 王水凤
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 稀土掺杂 离子注入 可见光致发光 SiO2薄膜 表面形貌
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 291-295
• 页数: 5页
• 分类号: O482.31
• 字数: 2863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2002.03.017

摘要

测量了Nd,Ce稀土离子注入Si基晶片,在不同离子注入剂量、不同退火条件下的室温光致发光(PL)谱,结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随掺杂浓度的增加而增大,随退火条件的不同而改变.运用原子力显微镜(AFM)对样品的表面形貌进行了观察,结果显示,样品表面颗粒大小、粗糙度将影响其发光效率.表面颗粒大小均匀,均方根粗糙度小的样品发光效率较高.通过对样品的卢瑟福背散射(RBS)能谱测量,对样品的表面结构进行了探讨,并讨论了表面结构与光致发光特性之间的联系.对样品的发光机理作了初步探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘南生	南昌大学物理系	35	441	14.0	20.0
2	汪庆年	南昌大学电气与自动化工程学院	24	160	7.0	12.0
3	王水凤	南昌大学物理系	15	55	4.0	6.0
4	元美玲	南昌大学物理系	15	103	5.0	10.0
5	曾宇昕	南昌大学材料科学工程系	11	25	4.0	4.0