电极材料对BST薄膜介电性能的影响

• 作者: 刘江华 张柏顺 江娟 章天金
• 来源期刊: 湖北大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: BST薄膜 电极材料 介电性能 氧空位 可靠性
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学与电子技术
• 页码范围: 219-223
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2375.2003.03.008

摘要

BST薄膜是微电子器件领域很有吸引力的介质材料.就BST薄膜研究中电极材料选择这一焦点问题进行综述,包括电极材料的种类,电极对薄膜微观结构、介电参数及稳定性等方面的影响,分析与电极相关的薄膜缺陷和可靠性现象,并对未来的发展作简要的描述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学物理学和电子技术学院	82	321	11.0	14.0
2	张柏顺	湖北大学物理学和电子技术学院	24	152	7.0	11.0
3	刘江华	湖北大学物理学和电子技术学院	9	98	7.0	9.0
4	江娟	湖北大学物理学和电子技术学院	32	130	7.0	10.0