晶片键合技术及其在垂直腔型器件研制中的应用

• 作者: 任晓敏 周震 黄永清
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 晶片键合 垂直腔型器件 分布布拉格反射镜
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 动态综述
• 页码范围: 217-221
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 5262字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2003.04.001

摘要

叙述了晶片键合技术的发展概况、基本原理和基本方法,分析了实现长波长垂直腔型器件的难点.最后介绍了晶片键合技术在长波长垂直腔型器件研制中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄永清	北京邮电大学光通信中心	196	987	13.0	18.0
2	任晓敏	北京邮电大学光通信中心	189	942	13.0	18.0
3	周震	北京邮电大学光通信中心	13	39	3.0	5.0