温度传感功能薄膜技术

• 作者: 刘希东 巴德纯 张以忱 高航
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 温度传感薄膜 功能薄膜 热电阻 热电偶 膜系
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 334-339,346
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.11|TB383
• 字数: 6948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.05.010

摘要

随着科学技术的不断进步,人们对温度信息获取的手段提出了新的要求,对温度传感器超小型化的要求越来越迫切,薄膜传感器的出现满足这一要求.薄膜温度传感器由于其优异的性能,在工业生产中越来越得到广泛应用.本文介绍了薄膜温度传感器的特点、种类、应用、测温机理、膜系及其主要制备工艺等,并探讨了薄膜热敏电阻、薄膜热电偶的标定方法,最后论述了温度传感功能薄膜的国内外发展现状及其目前需要解决的关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张以忱	东北大学机械工程多壁碳纳米与自动化学院	153	408	11.0	16.0
2	巴德纯	东北大学机械工程多壁碳纳米与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
3	高航	东北大学机械工程多壁碳纳米与自动化学院	26	414	13.0	20.0
4	刘希东	东北大学机械工程多壁碳纳米与自动化学院	2	40	2.0	2.0