单晶硅表面无掩膜极微细加工成形的研究

• 作者: 何友义 徐盛林
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 无掩膜 极微细成形 FFM 腐蚀
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 机械加工与自动化
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 1787字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2003.05.005

摘要

对单晶硅表面进行极微细加工中,直接用摩擦力显微镜机构(FFM)进行机械加工,然后用KOH溶液对加工基片腐蚀,发现被加工部位能形成凸台,对影响凸台成形的各种因素进行了试验研究,并介绍了这种新式成形工艺的应用实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐盛林		3	10	2.0	3.0
2	何友义		2	4	2.0	2.0