高功率准分子激光沉积类金刚石膜的热稳定性

• 作者: 张寿 彭鸿雁 李俊杰 李哲奎 林景波 盖同祥 金哲 金曾孙
• 来源期刊: 吉林大学学报(理学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 准分子激光沉积 类金刚石膜 热稳定性 退火温度
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 497-500
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2003.04.016

摘要

在不同温度下(200～ 800 ℃) 将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验. 利用Raman和XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化. 结果表明, 类金刚石膜是由少量的sp2 C键和大量的sp3 C键组成的非晶态碳膜. 在退火温度小于600 ℃范围内, 类金刚石膜的热稳定性较好; 退火温度高于600 ℃时, 类金刚石膜中的sp3 C键逐渐向sp2 C键转变, 当退火温度升到800 ℃时, 类金刚石膜中sp3 C键含量由退火前的大约70%下降到40 %. 可见, 高温退火能导致类金刚石膜的石墨化趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
2	李哲奎	延边大学理工学院	10	58	5.0	7.0
3	林景波	延边大学理工学院	20	41	4.0	5.0
4	李俊杰	延边大学理工学院	5	17	3.0	4.0
5	张寿	延边大学理工学院	18	41	4.0	6.0
6	金哲	延边大学理工学院	11	32	3.0	5.0
7	彭鸿雁	吉林大学超硬材料国家重点实验室	4	45	3.0	4.0
8	盖同祥	延边大学理工学院	3	32	3.0	3.0