高功率准分子激光沉积类金刚石膜的结构及性能

• 作者: 彭鸿雁 李俊杰 申家镜 申辉 赵立新 金曾孙
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 准分子激光器 类金刚石膜 结构特性
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 页码范围: 2048-2050
• 页数: 3页
• 分类号: O483
• 字数: 2142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2003.11.022

摘要

采用高功率和高频率准分子激光器在高真空及H2和N2气氛下沉积类金刚石膜.利用Raman光谱和电子衍射方法分析了膜的微结构.Raman光谱呈典型DLC膜的特征,G峰位于1 528 cm-1,D峰位于1 327 cm-1,为一大的肩峰,电子衍射图象呈多晶电子衍射特征,可观察到5个同心圆环,由此计算出的面间距与金刚石(111),(200),(220),(331)和(332)面间距相符.红外吸收光谱测量结果表明,在Ge片上单面镀类金刚石膜具有明显的红外增透效果,在1 000～3 000 cm-1范围内红外透过率达到55%以上.用原子力显微镜和SEM观察了表面形貌,用显微硬度计和显微划痕仪测试了膜的硬度与附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
2	李俊杰	吉林大学超硬材料国家重点实验室	15	122	5.0	10.0
3	赵立新		54	48	5.0	6.0
4	彭鸿雁	吉林大学超硬材料国家重点实验室	4	45	3.0	4.0
5	申辉		3	7	1.0	2.0
6	申家镜		2	6	1.0	2.0