厚膜混合集成电路用的激光调阻系统

• 作者: 许永勤
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 厚膜混合集成电路 激光调阻系统 激光器 修调技术 切割图形
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TN452

摘要

介绍厚膜混合集成电路用的激光调阻系统的机理，结构，切割图形及工艺参数。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许永勤		3	0	0.0	0.0