脉冲激光沉积BST铁电薄膜的厚度分布

• 作者: 皇甫国庆
• 来源期刊: 陕西师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: (Ba,Sr)TiO3 铁电薄膜 脉冲激光沉积
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1664字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1672-4291.2003.03.014

摘要

使用193 nm脉冲激光在高真空条件下沉积Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜,通过观测薄膜形成的等厚干涉条纹,发现溅射光斑形状对膜层厚度分布有显著影响.通过精确测量干涉条纹的分布,推出了溅射产物的角分布函数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	皇甫国庆	渭南师范学院物理学系	23	40	3.0	5.0