利用脉冲激光剥蚀技术制备PZT铁电薄膜

• 作者: 徐静平 白铁城
• 来源期刊: 华中理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT铁电薄膜 激光剥蚀技术 居里温度 激光退火 钙钛矿
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2251字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.1999.04.015

摘要

利用脉冲激光剥蚀技术在抛光的硅片上制备出了Pb(Zr,Ti)O3铁电薄膜.经过淀积后的激光退火工艺,大大改善了这种膜的铁电性.研究了影响薄膜性能的多种因素,利用X射线衍射,分析了薄膜的结构.测量了薄膜的居里温度和电滞回线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白铁城	华中理工大学电子科学与技术系	3	9	2.0	3.0
2	徐静平	华中理工大学电子科学与技术系	2	3	1.0	1.0