热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光和室温紫外激光发射

• 作者: 刘益春 张吉英 张喜田 支壮志 申德振 范希武 许武 钟国柱
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米 热氧化 ZnO薄膜 光致发光 光泵浦激光发射 自由激子
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 2708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.01.009

摘要

利用低压-金属有机汽相外延(LP-MOCVD) 工艺首先在二氧化硅衬底上生长硫化锌(ZnS)薄膜,然后,将硫化锌薄膜在氧气中于不同温度下进行热氧化,制备出高质量的纳米氧化锌(ZnO)薄膜.X射线衍射(XRD)结果表明,氧化锌具有六角纤锌矿晶体结构.900℃氧化样品的光致发光(PL)谱中,在波长为3.3eV处观察到一束强紫外光致发光和相当弱的深能级发射.紫外发光强度与深能级发射强度之比是80,表明纳米ZnO薄膜的高质量结晶.在受激发射实验中观察到紫外激光发射.