采用WC过渡层增加金刚石薄膜附着力的研究

• 作者: 康志成 汪建华 满卫东 王传新 王升高 马志斌
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质合金 微波等离子体化学气相沉积 金刚石薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TQ164
• 字数: 1830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2003.03.012

摘要

在微波等离子体化学气相沉积装置中,以WC-8%Co为基体,采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、碳化等方法,制备了微晶WC过渡层.研究了金刚石薄膜与基体的附着力.结果表明,表面脱碳后再镀W膜,W填充了氢等离子体脱碳时刀具表面因钴蒸发而留下的空洞,形成过渡层,在随后的碳化中和基体WC连接较为紧密,能增加金刚石薄膜与基体附着力,克服单纯的氢等离子体脱碳还原法降低刀具基体硬度、不能完全消除钴的有害影响的缺点.