降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型

• 作者: 梁骏吾 闻瑞梅
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超大规模集成电路 总有机碳 185纳米紫外 光化学
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1601-1604
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 3720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2003.11.001

摘要

本文提出用185nm紫外线降低高纯水中总有机碳(TOC)的能量传递光化学模型.计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系,从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法.根据理论计算出的结果和实验十分一致,证实了本模型的正确性.使高纯水中的TOC由4200μg/l 降至0.3μg/l,是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闻瑞梅		24	151	8.0	11.0
2	梁骏吾	中科院半导体所	1	7	1.0	1.0