薄膜生长初期多原子移动影响的模拟

• 作者: 刘涌 宋晨路 韩高荣
• 来源期刊: 浙江大学学报(理学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机模拟 初期形貌 沉积流量 多原子移动
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 274-276,280
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1008-9497.2003.03.010

摘要

模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积流量,并在此基础上讨论了移动步数、沉积流量等因素对生长的影响作用.模拟结果与实验相近,获得的花样具有分形特征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩高荣	浙江大学材化学院	187	1971	24.0	35.0
2	宋晨路	浙江大学材化学院	37	372	10.0	18.0
3	刘涌	浙江大学材化学院	18	59	5.0	6.0