薄膜生长初期能量参数影响研究

• 作者: 朱祎国 荣海波
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜生长 Monte Carlo模型 岛形貌 能量参数
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 850-853
• 分类号: O484
• 字数: 2605字
• 语种: 中文

摘要

用Monte Carlo模型模拟了亚单层薄膜在四方形基底上的生长过程.研究了在薄膜生长初期岛的形貌与周围原子作用之间的关系,及扩散原子周围不同位置处原子的势能参数对薄膜生长的影响.计算结果表明,扩散过程中,吸附原子受最近邻位置处原子作用的势能变化影响较大,而受次近邻位置处原子作用的势能变化影响较小;降低扩散原子最近邻位置处的能量参数,相当于升高了基底的温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱祎国	大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室	15	59	4.0	7.0
2	荣海波	大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室	1	2	1.0	1.0