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摘要:
热丝辅助裂解法是结合气相沉积制备聚对二甲苯薄膜和热丝化学气相沉积而形成的一种制备CH薄膜的新方法.热丝辅助裂解法的最大特点就是在保持低衬底温度情况下可以获得高沉积速率,而热丝加热电流对薄膜沉积速率和薄膜表面形貌具有重要影响.研究表明,热丝加热电流越大,薄膜沉积速率越高,在加热电流9A时,薄膜沉积速率可达0.002mm/min,同时薄膜表面粗糙度随之增加,薄膜表面也开始出现其它元素污染,因此,一般热丝加热电流选择为7A附近.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 热丝加热电流对CH薄膜沉积速率和表面形貌的影响
来源期刊 强激光与粒子束 学科 工学
关键词 热丝 CH薄膜 沉积速率 表面形貌
年,卷(期) 2003,(8) 所属期刊栏目 ICF与激光等离子体
研究方向 页码范围 769-772
页数 4页 分类号 TL639.11
字数 2375字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王朝阳 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 96 655 14.0 19.0
2 吴卫东 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 140 1087 18.0 26.0
3 张占文 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 80 531 12.0 16.0
4 余斌 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 20 108 6.0 9.0
5 李波 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 109 718 13.0 19.0
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热丝
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研究起点
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期刊影响力
强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
出版文献量(篇)
9833
总下载数(次)
7
总被引数(次)
61664
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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