双频干涉共焦台阶高度测量系统

• 作者: 张蕊 徐毅 林德教 柳忠尧 殷纯永
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测绘仪器 相位测量 外差干涉 共焦显微术
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 1015-1018
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2003.11.014

摘要

提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位,其轴向台阶高度测量范围在5 μm以上.同时采用相位测量技术,实现了对半波长的3600细分,从而使测量分辨率达到0.1 nm.由此同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求.实验结果表明系统在没有恒温的普通实验室条件下1 h内的漂移不超过15 nm,与差动纳米双频干涉仪的比对结果线性系数在0.9999以上,非线性误差约10 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷纯永	清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室	43	662	14.0	24.0
2	张蕊	清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室	4	31	3.0	4.0
3	林德教	清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室	10	208	7.0	10.0
4	徐毅		15	320	10.0	15.0
5	柳忠尧	清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室	5	48	3.0	5.0