IBED和Sol-gel制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响

• 作者: 李格 李金华 袁宁一
• 来源期刊: 哈尔滨理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钒薄膜 离子束增强沉积 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 88-89,92
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|O484.4
• 字数: 1677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2683.2003.05.026

摘要

采用离子束增强沉积(IBED)法和溶胶-凝胶法(Sol-gel)在SiO2/Si衬底上制备了具有半导体相-金属相转换特性的二氧化钒薄膜.对两种方法制备薄膜的性能测试结果表明,其转换温度、相变滞豫、热电阻温度系数等都有较大差别.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华	江苏工业学院功能材料实验室	33	277	9.0	15.0
5	袁宁一	江苏工业学院功能材料实验室	26	154	8.0	10.0
9	李格	江苏工业学院功能材料实验室	6	26	4.0	5.0