MEMS综合与设计优化

• 作者: 周鹏 李伟华
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS综合 MOGA SA算法
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 348-353
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 字数: 4066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2004.02.032

摘要

研究与探讨MEMS综合这一新技术.MEMS综合即是要实现MEMS的自动化设计与设计优化.分析MEMS综合与VLSI中的综合方法之间的区别之处.对比了现有的几种综合算法:MOGA多目标基因算法、SA模拟热退火算法以及特定目标方法.研究了国外现有的MEMS综合的过程、步骤与综合方法,结合实例说明了国外研究现状.