甲烷浓度对CVD金刚石膜表面粗糙度的影响

• 作者: 罗承萍 邱万奇 黄元盛
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石膜 甲烷 粗糙度
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 1808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2004.06.005

摘要

研究了化学气相沉积金刚石膜时甲烷浓度与金刚石膜表面粗糙度的关系.结果表明,随甲烷浓度的增加金刚石膜表面粗糙度下降.表面粗糙度主要由金刚石膜的晶粒大小和二次形核决定,晶粒越细,表面粗糙度越低.在金刚石晶界二次形核及长大,也促使金刚石膜表面粗糙度降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱万奇	华南理工大学机械工程学院	67	339	9.0	15.0
2	罗承萍	华南理工大学机械工程学院	80	1286	19.0	33.0
3	黄元盛	韶关学院机电系	12	44	3.0	6.0