表面结构的分类与识别

• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面结构 分类 识别 功能互相关刎
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 141-151
• 页数: 11页
• 分类号: TN0
• 字数: 1146字
• 语种: 中文

摘要

表面结构的测量与特征描述是精密计量技术的一个重要方面,传统上包括将轮廓情况根据不同的波长范围划分为粗糙度、波纹度和形状及后续的数字量化.按算得的参数检查它是否为公差允许,以保证零件执行其指定的功能.当技术特性已经经过仔细确定,并且其过程稳定时,该方法是令人满意的;但是,当制造过程正在进行中或过程的不稳定、过程变化使技术特性失效时,就需要研究和功能表现及过程评定相关的表面参数.讨论了表面结构的分类与识别问题.同时阐述了为此目的而开发的先进技术及其应用.所研究的技术对从纳米尺度到传统的微米尺度的较大带宽范围内的表面特征描述都是有效的.