基于MEMS技术的光开关及新趋向

• 作者: 吴国锋
• 来源期刊: 光通信
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 MEMS技术 微电子机械系统 基本构成 新趋向 技术发展
• 年，卷（期）: gtx_2004,（10）
• 页码范围: 46-47
• 页数: 2页
• 分类号: TN929

摘要

本文介绍了基于MEMS(微电子机械系统)技术光开关的基本构成及技术发展的一些新趋向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴国锋		22	65	4.0	7.0